發布日期：2025-08-22 瀏覽次數：次
加（jiā）熱防腐型勻（yún）膠機
一、技（jì）術原理與核心參數
加熱防腐型旋轉塗覆儀采用聚四氟乙烯腔體，外觀美（měi）觀堅固，具有優良的（de）化學穩（wěn）定性（xìng）和極強的耐腐蝕性（xìng），能夠用於各種（zhǒng）需要抗酸堿和有機溶劑的場合。儀器采（cǎi）用先進的精（jīng）密電機，轉速（sù）能達到 12000 轉/分，有效的保障（zhàng）了成膜的均勻性。除了基本的旋塗功能，本（běn）品還配有加熱組件，可以加熱到 200℃，由智能（néng）溫控表控溫，溫度測定（dìng）準確，升溫過程（chéng）完全可控。另（lìng）外本儀器采用觸控屏控製，可以預設勻（yún）膠曲線，大大簡（jiǎn）化了使用過程降低了學習成本（běn），十分適合實驗室選（xuǎn）購。
二、關鍵性能參數
項目 | 參數要求 |
控製係統 | PLC控製係統 |
操作界麵 | 彩色7寸觸摸屏，中英文切換（huàn） |
速度範圍 | 0~ 12000rpm，精度±1 |
加速度 | 100~8000rpm/s（空載） |
腔（qiāng）體材（cái）質 | 聚四（sì）氟乙烯 |
加熱溫度 | 室溫+200℃ |
傳動機構 | 精密電機+驅動器和高精度步進電機，傳動穩、噪（zào）音小； |
控溫方式（shì） | AIP 智能控溫 |
滴膠（jiāo）方式 | 精密注射泵（bèng）(0.01~5ml ，精度士 1% ，防回流設計） |
勻膠（jiāo）曲線 | 每條（tiáo）曲（qǔ）線 1000 段，共可儲存 30 條曲線 |
數（shù）據 | 支持 USB 導出數據 |
抽氣接口 | φ6mm 快擰接口 |
無油真（zhēn）空（kōng）泵 | 50L/min， |
勻（yún）膠（jiāo）吸盤 | Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四氟材質 |
打印機 | 嵌入式微型打（dǎ）印機 |
電壓電流 | AC220V，50Hz |
外形尺寸 | 310mm×365mm×350mm |
重量 | 15kg |
三，應用領（lǐng）域
光電子（zǐ）學領域：用於製備太陽能（néng）電池、有機發光（guāng）二極管（OLED）、有機太陽能電（diàn）池（OPV）等器件的薄膜塗層；
半導體與微電子製造：適用於光刻膠旋（xuán）塗、晶圓表麵塗布等工藝，支持最大12英寸晶圓處理；
材料科學：可製備金屬、半導體、氧化物及聚（jù）合物（wù）等材料的均勻薄膜，尤其適合需（xū）要抗酸堿和有機溶劑的實驗環境；
生物醫學（xué）領域：用於（yú）生（shēng）物傳感（gǎn）器、生物芯片的（de）塗層製備，聚四氟乙烯腔體設計確保（bǎo）化學穩定性與耐腐蝕性；
納米科技：支持納米材料（liào）與納米薄膜的製備，高精度控溫（室溫-200℃）和（hé）轉速調節（10-12000轉/分鍾）保障（zhàng）工（gōng）藝穩定性。
四、基礎操作流程
A安裝與準備
連接設（shè）備
連（lián）接真空（kōng）泵氣管與電源線，確保（bǎo）螺帽擰緊（jǐn）。
插入設備電源線並打開總開關。
安（ān）裝吸盤與片托
根據樣（yàng）品尺寸選擇吸盤，對準槽口安（ān）裝並固定螺絲。
將片托凹（āo）槽對準電機軸頂絲垂直（zhí）放置。
B參數設置
選擇勻膠方案
進（jìn）入操作界麵，選擇預設方案（àn）（如5段（duàn）式參數）或（huò）自定義參（cān）數。
設置轉速（sù）、時間與加速度（dù）
示例：第一段速（sù）度2000轉/分鍾（zhōng），時間20秒，加速度20001。
分段設置（如第二段（duàn）3500轉/分鍾，第三段10000轉/分鍾）。
溫度控製（如需加熱）
設置溫度（dù）範圍（0-200℃），支持手（shǒu）動或自動加熱模式。
C旋塗操作
放置樣品
將基片居中放置於（yú）片托，啟動真空（kōng）泵吸附（fù）固定（dìng）。
啟動勻膠
轉速穩定後注入膠液，程序自動分段執行。
完成與清潔
等待轉速歸零，關閉真空泵並取出樣品。
定期清潔抽氣孔（滴酒精維護）。
D注意事項（xiàng）
防腐設計：聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕，避免接觸強氧化劑。
安全防護：加熱模塊高（gāo）溫，操作時勿觸碰。
五、合規（guī）性要求（核心標準）
六、儀器特（tè）點
1. 防腐設計
腔體材質采用聚四氟乙烯（xī）（PTFE）或聚丙烯（PP），抗（kàng）強酸、強堿及有機溶劑腐蝕。
部分機型配備防濺（jiàn）廢料罐和排液（yè）管，防止腐蝕性液體汙染環境。
2. 加熱與溫控功能
加熱範圍覆蓋室溫至200℃，控溫精度±1-2℃，適用於高溫工藝（如光刻膠烘（hōng）烤）。
支（zhī）持分段控溫，部（bù）分機（jī）型集成抽廢氣功能（néng），確保工藝穩（wěn）定性。
3. 高精度勻膠性（xìng）能
轉速範圍10-20000轉（zhuǎn）/分鍾，電機采用無刷伺服或德國進口電機，保障薄膜均勻性（厚度誤差（chà）±1%）。
部分機型支持正反轉（zhuǎn）旋塗（tú）和分段編程，優化複（fù）雜工藝需求。
4. 智能化操作
配備觸摸屏控製、藍牙通信及PC端遠程控製軟件，支持配方存儲（chǔ）與掉電保護。
實時顯示轉速曲線、吸附力及報（bào）警功能（如進膠保護、吸附不足（zú）互鎖）。
5. 安全與兼容性
透（tòu）明耐腐蝕蓋板（丙烯酸材質（zhì））隔絕（jué）有毒氣體，部分機型適配手套箱使用。
適配（pèi）半導體、光電子（zǐ）等領域。
七，配置清單
主機1台；
測試軟件（jiàn）1套（tào）；
說明書（shū）1份;
合格證1份（fèn）;
保修卡1份;
簽收單1份;
銘牌1塊;
電源線（xiàn）1根;
扳手1套;
宣傳冊若幹;
加（jiā）熱防腐型勻膠機
一（yī）、技術原理與核心參數（shù）
加熱防腐型旋轉（zhuǎn）塗覆儀（yí）采用聚四氟乙烯腔體，外觀美觀堅固，具有優良的化學穩（wěn）定性和極強的耐（nài）腐蝕（shí）性，能夠用於各種需要抗酸堿（jiǎn）和有機溶劑的場合。儀器采用先進的精密電機，轉速能達到 12000 轉/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋塗功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到 200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準確，升（shēng）溫過程完全可控。另外本儀器采用觸控（kòng）屏控製，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程（chéng）降低了學習成（chéng）本（běn），十分適合實驗室選（xuǎn）購（gòu）。
二、關鍵性能參數
項目 | 參數要求 |
控製係統 | PLC控製係統 |
操作界麵 | 彩色7寸觸摸屏（píng），中英文切換 |
速度範圍 | 0~ 12000rpm，精度（dù）±1 |
加速度 | 100~8000rpm/s（空載） |
腔體材質 | 聚四氟乙烯 |
加熱（rè）溫度 | 室溫+200℃ |
傳動機構 | 精密電機+驅動器和高精度步進電機，傳（chuán）動穩、噪音小； |
控溫方式 | AIP 智能控溫 |
滴膠方式 | 精密注射泵(0.01~5ml ，精度士 1% ，防（fáng）回流設計） |
勻膠曲線 | 每條曲線 1000 段，共（gòng）可儲存 30 條曲線 |
數據 | 支持 USB 導出數據 |
抽氣接口 | φ6mm 快擰接口 |
無油真空泵 | 50L/min， |
勻膠吸盤 | Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四氟材質 |
打印（yìn）機 | 嵌入式微型打印機 |
電壓電流 | AC220V，50Hz |
外形尺寸 | 310mm×365mm×350mm |
重量 | 15kg |
三，應用（yòng）領域
光電子學（xué）領域：用於製備（bèi）太（tài）陽能電池、有（yǒu）機（jī）發光二極管（OLED）、有機太陽能電池（OPV）等器件的薄膜塗層；
半導體與微電子（zǐ）製造：適用於（yú）光刻膠旋（xuán）塗、晶圓（yuán）表麵塗布等工藝，支持最大（dà）12英寸（cùn）晶圓（yuán）處理；
材料科學（xué）：可製備金屬、半導體、氧化物及（jí）聚合物等材料的均（jun1）勻薄膜，尤其適合需要抗酸堿和有機溶劑的實驗環境；
生物（wù）醫學領域：用於生物傳感器、生物芯片（piàn）的塗層製（zhì）備，聚四氟乙烯腔體設（shè）計確保化學穩定性與（yǔ）耐腐蝕性（xìng）；
納米科技：支持納米材料與納米薄膜的（de）製備，高精度（dù）控溫（室（shì）溫-200℃）和轉速調節（jiē）（10-12000轉（zhuǎn）/分鍾）保（bǎo）障工藝穩定性。
四、基礎（chǔ）操作流程
A安裝與（yǔ）準備
連接設備
連接真空泵氣管與電源線，確保螺帽擰緊。
插入設備電源線並打開總開關。
安裝吸盤與片托
根據樣品尺寸（cùn）選擇吸盤，對準槽口安裝並固定螺絲。
將片托凹槽對準電機軸頂（dǐng）絲（sī）垂直放置（zhì）。
B參數設置（zhì）
選擇勻（yún）膠方案
進入操作界（jiè）麵（miàn），選擇預設方案（如5段式參（cān）數）或（huò）自定義參數。
設置轉速、時間與加速度
示例：第一段速度2000轉/分鍾，時間20秒，加速（sù）度20001。
分段設置（zhì）（如（rú）第二段（duàn）3500轉/分鍾，第三段10000轉/分（fèn）鍾）。
溫度控（kòng）製（如（rú）需加熱）
設置溫（wēn）度範圍（0-200℃），支持手動（dòng）或自動加熱模式。
C旋塗操作
放置樣品
將基片居中放置於片托，啟動（dòng）真空泵吸附固定。
啟動（dòng）勻膠
轉速穩定後注入膠液，程（chéng）序自動分段執（zhí）行。
完成與清潔
等待轉速歸零，關閉真空（kōng）泵並取出樣品。
定期清潔抽氣孔（滴酒精維護）。
D注意事項
防腐設計：聚（jù）四氟乙（yǐ）烯腔體可耐酸堿腐蝕，避（bì）免接（jiē）觸強氧化劑。
安全防護：加熱模塊高溫，操作時勿觸碰。
五、合規性（xìng）要求（核（hé）心標（biāo）準）
六（liù）、儀器特點
1. 防腐設計（jì）
腔體材質采（cǎi）用聚（jù）四氟乙烯（PTFE）或聚丙烯（PP），抗強（qiáng）酸、強堿及有（yǒu）機溶劑腐（fǔ）蝕（shí）。
部（bù）分機型配備防濺廢料罐和排液（yè）管，防止腐蝕性液體汙染環境。
2. 加熱與溫控功（gōng）能
加熱範圍覆蓋室溫（wēn）至200℃，控溫精度±1-2℃，適用於高溫工藝（如光刻膠烘烤（kǎo））。
支持（chí）分段控溫，部分機型集（jí）成抽（chōu）廢氣功能，確保工藝穩定性。
3. 高精（jīng）度勻膠性能
轉速範圍10-20000轉/分鍾，電機采用無（wú）刷伺服或德國進口電機（jī），保障薄膜均勻性（厚度誤差±1%）。
部分機型支持（chí）正反轉旋塗和分段編程，優化複雜工藝需求。
4. 智能化操作
配備（bèi）觸摸屏控製、藍（lán）牙通信及PC端遠程控製（zhì）軟件，支持配方存儲與掉電保護。
實時顯示轉速曲線（xiàn）、吸附力及報警功能（如進膠保護、吸附不（bú）足互鎖（suǒ））。
5. 安全與兼容性
透明耐腐蝕蓋板（丙烯酸材質（zhì））隔絕有毒氣體，部（bù）分機型適配手套箱（xiāng）使用。
適配半（bàn）導體、光電（diàn）子等領域。
七，配置（zhì）清單
主機1台；
測試軟件1套；
說明書1份;
合格證1份;
保修卡1份;
簽收單1份;
銘牌1塊;
電源線（xiàn）1根（gēn）;
扳手1套;
宣傳冊若幹;
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