發布日期：2025-11-11 瀏覽次數：次
一、 儀器（qì）介紹
概述：
表麵潔淨度測（cè）試儀（yí）采接觸式（shì），量測物體（tǐ）表麵的粒子（zǐ）數量的設備!半導體，麵板廠，設備商與所有清潔部件廠商，驗證部件表麵是否幹淨的檢驗標準工具，人的肉眼很難看清直徑在（zài）100微米以下的粒子，這些粒（lì）子會快速沉降，逃（táo）避常規的空氣（qì）檢測從而聚集在關鍵表麵或產品上，從而（ér）減少產品的良率及降低產（chǎn）品的穩定性。
執行標準：
ISO14644-9:2022 《潔淨室和相關的受控環境第（dì） 9 部分:顆粒濃度表麵清潔度的評估》
二（èr）、 儀器（qì）參數
技術參數：
控製係（xì）統：PLC
操作界麵：7寸觸摸屏
流量:28.3L/min+5% 內置（zhì）流量傳感器，流量自（zì）動閉環控製
光源: 進口激光二（èr）極管
測（cè）試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據客戶需求定製，最多八個通道）
最大飽和濃度:2000000/ft3（5%）
自淨時間:≤10min
測量次數:0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時（shí）時間:0-9999秒
潔（jié）淨度等級:1~9級
采樣（yàng）頭規格:φ36.5
數據單位:m3、ft3
SCP等級:1級-8級
表麵類型:圓形、方形
表麵探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
數據單位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
根據探頭的形狀（如（rú）:圓形輸入直徑、方（fāng）形輸入（rù）長寬尺寸），自動計算出表麵積。
打印功能:熱敏打印機
數據儲存:可儲存100000組（zǔ）數據
重量:15kg
外形尺寸:300*400*450mm
電源：AC220V 50Hz 150W （可選帶鋰電池組）
基本配置：
主機 一台
說明書 1份
合格證1份
簽收單1份
電源線1份
扳手1套
保修卡 一（yī）個
銘牌 一個
一、 儀器介紹
概述：
表麵潔淨度測（cè）試儀采接觸式，量測（cè）物（wù）體表麵的粒子數量的設備!半導體，麵板廠，設備商與所有清潔部件廠商，驗證部件表麵是否幹淨的檢驗標準工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米（mǐ）以下的粒子，這些粒子會快速沉（chén）降，逃避（bì）常規的空（kōng）氣檢測從而聚集在關鍵表麵或（huò）產（chǎn）品上，從而減少產品的良率及降低產品的穩定性。
執行標（biāo）準：
ISO14644-9:2022 《潔（jié）淨室和相關的受控環境第 9 部分:顆（kē）粒濃度表麵清潔度的評估》
二、 儀器參數
技術參數：
控製係統：PLC
操作界麵：7寸觸摸屏
流量:28.3L/min+5% 內置流量傳感器（qì），流量（liàng）自（zì）動（dòng）閉環控製
光源: 進口激光二極管
測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根（gēn）據客戶需求定製，最多八個通道）
最（zuì）大飽和濃度:2000000/ft3（5%）
自淨時間:≤10min
測量次（cì）數:0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時時間:0-9999秒
潔淨度等（děng）級:1~9級
采樣頭（tóu）規格:φ36.5
數據單（dān）位:m3、ft3
SCP等級:1級-8級
表麵類（lèi）型:圓形、方形
表麵探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
數據單位（wèi）:m2、ft2、in2、cm2、mm2
根據探頭的形狀（如:圓形輸入直徑、方（fāng）形（xíng）輸入長寬尺寸），自（zì）動計算出表麵積。
打印功能:熱敏打印機（jī）
數據儲存:可儲存100000組數據
重量:15kg
外形尺寸:300*400*450mm
電源：AC220V 50Hz 150W （可選帶鋰電池組）
基本配置：
主機 一台
說明書 1份
合格證1份
簽收單1份（fèn）
電源線1份
扳手1套
保修卡 一個
銘牌 一個
客服微信二（èr）維碼
服務（wù）熱線